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中国预计15年内能自主研发EUV光刻机,但制裁可能刺激技术进步

2026-09-03 4656

近年来,德国蔡司集团的半导体负责人Frank Rohmund在一次采访中表示,中国在开发极紫外光(EUV)光刻机方面预计还需约15年的时间。他认为这一预测是合理的,但也承认中国在这一领域的具体进展难以评估。目前,ASML是全球唯一能够制造EUV光刻机的公司,而EUV技术是如英伟达AI加速器等先进芯片生产的关键。

由于EUV技术的重要性,美国已经利用这一点限制向中国出口相应的设备,同时也在努力扩大对其他先进光刻机的出口管制。Rohmund对此指出,如果未来传统的浸润式深紫外光(DUV)设备也受到限制,将对相关产业产生负面影响。他明确表示,这些出口管制措施并不会产生积极效果,反而可能促使中国加快创新和技术进步。

他指出,制裁压力可能迫使中国研发团队加速追赶技术发展步伐,这与ASML首席执行官富凯的观点相吻合,认为收紧出口管制将助长中国的自主研发替代设备的速度。蔡司也承认,中国在DUV光刻机领域已经取得一些进展,最近有一家位于上海的公司开始制造相关设备。尽管如此,Rohmund强调,仍需观察这些设备的实际性能,因为他们依然在技术上处于领先地位。蔡司是全球约80%芯片所用光学元件的主要供应商,而ASML在2017年收购了蔡司半导体事业的部分股份。 龙8体育

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